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HMDS真空烘箱(HMDS预处

EHZ-HMDS-90系列电脑式HMDS真空烘箱主要应用于半导体晶圆片光刻涂胶镀膜前预处理,增黏剂HMDS涂覆作业。本设备适用于在涂胶前对晶片进行预处理,集真空、烘烤、充氮、洁净、HMDS加液多功能与一体。设备由箱体、真空、加热、充氮、加液及控制等系统组成。通过多次预抽真空,充氮加热循环进行,既能达到使硅片表面干燥、洁净的效果,又能够有效的防止硅片的氧化和杂质的扩散,并且可以通过加液系统在硅片表面开成HDMS保护膜,从而使硅片具有良好的涂胶性能。和手工涂布HMDS相比,具有重复性好,节省药液,环保,对人体无害的显著优点;也可用于晶片其它工艺的清洗。

详细先容

 EHZ-HMDS-90真空烘箱先容

                                ----半导体光电行业专用HMDS预处理真空烘箱

一、技术参数:

名称:HMDS电脑式真空烘箱

型号:EHZ-HMDS-90

真空度:<133pa

温度范围:50~250℃

温度分辨率:±0.1℃

控制方式:PLC+触摸屏(人机交互界面)

内部尺寸:W450mm*D450mm*H450mm(可根据客户要求订制)

电源:AC220V  50HZ 

功率:2.1KW

二、应用领域与用途:

EHZ-HMDS-90系列电脑式HMDS真空烘箱主要应用于半导体晶圆片光刻涂胶镀膜前预处理,增黏剂HMDS涂覆作业。本设备适用于在涂胶前对晶片进行预处理,集真空、烘烤、充氮、洁净、HMDS加液多功能与一体。设备由箱体、真空、加热、充氮、加液及控制等系统组成。通过多次预抽真空,充氮加热循环进行,既能达到使硅片表面干燥、洁净的效果,又能够有效的防止硅片的氧化和杂质的扩散,并且可以通过加液系统在硅片表面开成HDMS保护膜,从而使硅片具有良好的涂胶性能。和手工涂布HMDS相比,具有重复性好,节省药液,环保,对人体无害的显着优点;也可用于晶片其它工艺的清洗。

三、产品特点:
1.控制界面:采用日本三菱PLC+7'触摸屏人机交互界面,一键启动,程序化运行,温度控制系统,抽真空系统,

充氮系统,HMDS注液系统完美对接,亦可在操作界面单独设定操控,实现一集多用。

2.箱体:工作室采用3mm优质不锈钢内胆,四周圆弧角焊接,表面净化处理,密闭不漏气,内部自身不产尘,

适用于半导体晶圆,光电等洁净环境。

3.外壳:采用SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆,可防止微尘

4.密封:门封采用四氟乙烯双层密封一体成型耐高温胶条,密封性好,柔软洁净无污染。

5.温度控制系统:

5.1温控器
采用日本FUJI数字型智能温度控制器,控制精度±0.1℃,PID自动演算,自动恒温,带温度传感器断线报警,超温断加热,过冲抑制,抗干扰,AT自整定,温度偏差修正功能,带8段斜率升温功能。

5.2 温度传感器

采用日制PT100铂金电阻,不锈钢铠装覆套,精度±0.5%,反应灵敏,抗干扰,耐高温

6.真空度控制系统

6.1 真空计

采用三菱PLC压力控制模块搭配上海产优质真空压力变送器,压力精度1pa

6.2 真空泵

采用上海产优质双旋片油泵,真空极限10-3pa,亦可根据客户需要配置德国进口真空泵。

7.充氮系统

采用惰性气体进气阀,不锈钢无缝焊接管路,搭配日本进口电磁阀,截止阀,耐压,无泄漏。台制氮气流量计,压力调节阀,可充入氮气,氩气等多种惰性气体,氮气流量,充入时间可控制。

8.HDMS注液系统

防爆型HDMS制剂瓶,配置不锈钢药液管道,电磁回流阀,真空状态打开阀门自动注液,安全密封无泄漏。

9.安全保护系统:

配置机台异常工作状态指示报警,安全断路器,过压过载保护,控制线路保险管,超温保护,压力过载保护,安全急停开关、工作状态三色指示灯。所用电器器件及气动元件均采用国内外一流大厂正品,确保安全可靠。

四、选配件:

1.多通道温度记录仪:带RS485通讯端口,曲线模式,多点温度同屏显示,可存储记录,配置USB接口,插入U盘到处数据,亦可配置打印机,打印温度曲线。

2.压力记录仪:彩色液晶屏压力记录仪,在线监控箱内压力,带RS485通讯端口,可存储记录数据,亦可通过App连接电脑,导出数据。


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